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废气处理设备是有非常多的类型，而且每一种设备的原理是不一样的，常见的废气处理设备有催化燃烧设备，光氧催化设备、等离子体设备、活性炭吸附箱，这些设备内部的结构和功能都各不相同，下面来说一下。
催化燃烧设备
催化燃烧净化装置主要由阻火器，热交换器，催化反应床，风机这几个主要部件组成。与直接燃烧相比，催化燃烧温度较低，燃烧比较完全。催化燃烧用的是表面具有贵金属和金属氧化物的催化剂，将有机污染物的废气在催化剂铂、钯的作用下，可以在较低的温度下将废气中的有机污染物氧化成二氧化碳和水。催化剂的加入并不能改变原有的化学平衡，所改变的仅是化学反应的速度，而在反应前后，催化剂本身的性质并不发生变化。
废气经阻火器过滤后，通过主进阀、旁通阀的同步反向切换调节进入热交换器，热交换器的换热升高一定温度后进入预热室，经过预热室的加热，使废气升温到催化起燃温度（～250℃），然后进入催化反应床，在催化剂的活性作用下，有机废气进行氧化反应生成无害的水和二氧化碳，并放出一定的热量。反应后的高温气体再次进入热交换器，经换热后，Zui后以较低的温度经引风机排入大气。
光氧催化设备
废气经阻火器过滤后，通过主进阀、旁通阀的同步反向切换调节进入热交换器，热交换器的换热升高一定温度后进入预热室，经过预热室的加热，使废气升温到催化起燃温度（250℃左右），然后进入催化反应床，在催化剂的活性作用下，有机废气进行氧化反应生成无害的水和二氧化碳，并放出一定的热量。反应后的高温气体再次进入热交换器，经换热后，Zui后以较低的温度经引风机排入大气。
等离子体设备
在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除